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L{{'}}'''évaporation sous vide''' est une technique de [[dépôt de couche mince]] (généralement métallique), utiliséutilisée notamment dans la fabrication [[microélectroniquemicro-électronique]]. Le matérielmatériau à déposer est [[évaporation|évaporé]] sous [[Chambre à vide|vide]] dans une enceinte hermétique, le vide permettant aux particules d'atteindre directement le support où elles se recondensent à l'état solide.

[[image:Evapo shadowing.png|thumb|right|200px|Le bloc bleu crée à gauche une ombre, zone qui n'est pas atteinte par la matière.]]

L'évaporation sous vide repose sur deux processus élémentaires : l'[[évaporation]] d'une source chauffée et la condensation à l’étatl’[[état solide]] de la matière évaporée sur le substrat. Cela ressemble quelque peu au procédé qui voit l'[[eau]] liquide apparaître sur le couvercle d'une casserole d'eau bouillante : l'eau liquide est évaporée et se recondense sur le couvercle qui est l'équivalent de la cible du dépôt.

L'évaporation a lieu sous vide, c'est-à-dire dans un environnement [[gaz]]eux, vapeur de dépositiondépôt exclue, contenant extrêmement peu de particules. Dans ces conditions, les particules de matière peuvent se propager jusqu'à la cible sans collision avec d'autres particules. Par exemple dans un vide de 10^-4 [[pascal (unité)|Pa]], une particule de {{unité|0.4-|[[nanomètre|nm]]}} de [[diamètre]] àa un [[libre parcours moyen]] de {{unité|60 [[mètre|m]]}}, c'est-à-dire qu'elle peut parcourir en moyenne soixante mètres avant de rentrerd'entrer en collision avec une autre particule. Les objets chauffés, i.e.(c'est-à-dire le filament chauffant), produisent des vapeurs parasites qui limitent la qualité du vide dans la chambre de dépositiondépôt.

Le matérielmatériau évaporé ne se dépose pas de manière uniforme sur une surface irrégulière, comme l'est généralement celle d'un [[circuit intégré]]. Aussi, lors d'un dépôt sur une surface microstructurée complexe, il peut arriver des effets d'ombrage lorsque lorsqu'une surface du support est cachée du rayonnement unidirectionnel de la source.

== RéférencesNotes et références ==