洗浄
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洗浄(せんじょう)は、水や洗剤などの洗浄液を用いて汚れを取り除く行為。
半導体部品を生産する上でシリコンウェハーの表面を洗浄する際に以前はフロンが洗浄液として使用されていたが、フロンはオゾン層を破壊する原因とされたため以来純水が使用されるようになった。
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